檢索結果:共7筆資料 檢索策略: "李奎毅".ccommittee (精準) and year="95"
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本論文研究半透光膜輔助矽膜雷射長晶,在Si (90 nm)/SiO2 (100 nm)/SiONx (1200 nm),α=15000 cm-1條件下,成功得到20 µm的矽晶粒,並利用…
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本研究探討準分子雷射結晶化矽厚膜可行性,並以此膜製作薄膜太陽能電池。研究發現,雷射退火矽膜之最高厚度為700 nm,並出現完全溶化之碟狀結晶(Disc grain)。利用SLS法後可再室溫下產生7 …
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本研究在濺鍍壓力為5 mTorr及載台溫度為250℃的條件下成功開發出矽膜濺鍍磊晶技術,其所需真空度為1.0×10-6 Torr。另外在檢測磊晶矽膜的品質部份,本研究以Raman、RHEED系統量測…
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為了實現塑膠基板薄膜電晶體的目標,我們成功地利用反應式濺鍍的方式來沉積對351nm波長具備0~56000cm-1吸收係數之SixNy半透光膜,並配合熱滯留輔助結晶技術,在塑膠基板上開發出超低溫多晶矽…
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本研究藉由製備ITO/poly(2-methoxy,5-(2´-ethyl-hexoxy)-1,4-phenylenevinylene)(MEH-PPV)(120 nm)/dielect…
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本研究是探討以溶膠凝膠法製備稀土元素釹摻雜氧化鋅。將Nd:ZnO試片先經熱退火處理,並由場發射掃描式電子顯微(FE-SEM)、X光繞射譜線(XRD)、拉曼散射光譜(Raman)和光激發螢光光譜(PL…
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本研究以管狀高溫爐利用化學氣相沉積法以氬氣和氧氣當载氣來沉積氧化鋅(ZnO)薄膜於矽基板上。和熱處理實驗的結果來做探討。剛沉積氧化鋅薄膜則用場發射掃描電子顯微鏡 (FE-SEM)、X光繞射譜線(XR…